数据与计算发展前沿2021，Vol.3Issue(5)：28-39,12.DOI:10.11871/jfdc.issn.2096-742X.2021.05.002
集成电路先进制造技术进展与趋势
Recent Progresses on Advanced VLSI Manufacturing Techniques
张睿 1虞小鹏 2程然 1沈强 2耿红艳 1高大为 2吴汉明3
作者信息
- 1. 浙江大学,微纳电子学院,先进集成电路制造技术研究所,浙江 杭州 311200
- 2. 浙江大学,杭州国际科创中心,浙江 杭州 311200
- 3. 芯创智(北京)微电子有限公司,北京 100871
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张睿,虞小鹏,程然,沈强,耿红艳,高大为,吴汉明..集成电路先进制造技术进展与趋势[J].数据与计算发展前沿,2021,3(5):28-39,12.
