现代电子技术2022，Vol.45Issue(2)：7-10,4.DOI:10.16652/j.issn.1004-373x.2022.02.002
一种双端固支微梁结构-静电耦合分析及仿真
Structural-electrostatic coupling analysis and simulation of fixed-fixed micro-beam
摘要
关键词
双端固支梁/结构静电耦合/耦合场分析/解析解推导/下拉电压/仿真分析分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘恒,孙亚坤..一种双端固支微梁结构-静电耦合分析及仿真[J].现代电子技术,2022,45(2):7-10,4.基金项目
国家重点研发计划课题(2019YFC1804704) （2019YFC1804704）
住房城乡建设部科学技术项目计划(2019-K-141) （2019-K-141）
