表面技术2022，Vol.51Issue(2)：306-312,330,8.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.02.030
锆元素诱导非球形磨粒对氧化锆陶瓷的化学机械抛光性能
Chemical Mechanical Polishing Performance of Non-Spherical Abrasives on Zirconia Ceramics
摘要
关键词
非球形二氧化硅/氧化锆陶瓷背板/化学机械抛光/材料去除率/表面粗糙度分类
矿业与冶金引用本文复制引用
丁振宇,雷红..锆元素诱导非球形磨粒对氧化锆陶瓷的化学机械抛光性能[J].表面技术,2022,51(2):306-312,330,8.基金项目
国家自然科学基金(51975343) （51975343）
