材料科学与工程学报2022，Vol.40Issue(1)：6-10,5.DOI:10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2022.01.002
醋酸铜辅助催化刻蚀制备金刚线切割多晶硅片绒面
Diamond-wire-sawing Multi-crystalline Silicon Wafers Etched by Copper Acetate-assisted Catalysis
摘要
关键词
金刚线切割多晶硅片/减反射/金属辅助化学腐蚀法分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李利凯,王美慧子,汪雷,杨德仁..醋酸铜辅助催化刻蚀制备金刚线切割多晶硅片绒面[J].材料科学与工程学报,2022,40(1):6-10,5.基金项目
国家重点研发计划资助项目(2018YFB1500300) （2018YFB1500300）
浙江省重点研发计划资助项目(2018C01034) （2018C01034）
国家自然科学基金资助项目(51532007,61721005) （51532007,61721005）
