材料科学与工程学报2022，Vol.40Issue(1)：46-50,5.DOI:10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2022.01.008
XPS结合氩离子溅射剖析Si/C多层膜的化学状态
Depth Analysis of the Chemical States in Si/C Multilayers Using XPS Combined with Ar Ion Sputtering
摘要
关键词
X射线光电子能谱/氩离子溅射/深度剖析/锂离子电池负极分类
机械制造引用本文复制引用
卢洋藩,王君..XPS结合氩离子溅射剖析Si/C多层膜的化学状态[J].材料科学与工程学报,2022,40(1):46-50,5.基金项目
浙江省基础公益研究计划资助项目(LGC19E020002) （LGC19E020002）
浙江大学实验技术研究资助项目(Zdjg08002) （Zdjg08002）
