光学精密工程2022，Vol.30Issue(4)：411-420,10.DOI:10.37188/OPE.20223004.0411
负偏压对含氢类金刚石薄膜性能的影响
Effect of negative bias voltage on properties of hydrogenated diamond-like carbon films
摘要
关键词
DC-PECVD/负偏压/H-DLC/多峰拟合/结合力分类
通用工业技术引用本文复制引用
郑锦华,刘青云,李志雄..负偏压对含氢类金刚石薄膜性能的影响[J].光学精密工程,2022,30(4):411-420,10.基金项目
焦作市创新创业领军团队资助项目(No.2019TD007) （No.2019TD007）
河南省"百人计划"资助项目(豫人才办[2015]4号) （豫人才办[2015]4号）
