红外技术2022，Vol.44Issue(2)：129-133,5.
As注入长波碲镉汞红外探测器工艺研究
As Ion Implantation Technology for LWIR HgCdTe Infrared Detector
熊伯俊 1李立华 1杨超伟 1李雄军 1赵鹏 1万志远1
作者信息
- 1. 昆明物理研究所,云南 昆明 650223
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摘要
关键词
As注入掺杂/p-on-n/退火激活/碲镉汞/SIMS分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
熊伯俊,李立华,杨超伟,李雄军,赵鹏,万志远..As注入长波碲镉汞红外探测器工艺研究[J].红外技术,2022,44(2):129-133,5.
