机械制造与自动化2022，Vol.51Issue(1)：7-10,4.DOI:10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2022.01.002
基体偏压对Cr/DLC薄膜结构及力学性能的影响
Effect of Substrate Bias on Structure and Mechanical Properties of Cr/DLC Films
摘要
关键词
DLC/磁控溅射/基体偏压/表面粗糙度/硬度/结合力分类
机械制造引用本文复制引用
贾昆鹏,徐锋,赵延超,王俊峰,左敦稳..基体偏压对Cr/DLC薄膜结构及力学性能的影响[J].机械制造与自动化,2022,51(1):7-10,4.基金项目
国家自然科学基金项目(51575269) （51575269）
