机械制造与自动化2022，Vol.51Issue(1)：23-26,4.DOI:10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2022.01.006
单晶硅表面微结构纳秒脉冲激光加工研究
Study of Microstructures on Monocrystalline Silicon Surface by Nanosecond Laser Processing
摘要
关键词
纳秒脉冲激光/单晶硅/微结构/参数优选分类
矿业与冶金引用本文复制引用
储成龙,汪奇文,张振,张全利..单晶硅表面微结构纳秒脉冲激光加工研究[J].机械制造与自动化,2022,51(1):23-26,4.基金项目
南京航空航天研究生创新基地(实验室)开放基金项目(KFJJ20190502) （实验室）
南京航空航天研究生创新基地(实验室)开放基金项目(KFJJ20200518) （实验室）
