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硅基太赫兹频率选择表面制作工艺技术研究

杨士成 张楠 黄海涛 贾旭洲

空间电子技术2021,Vol.18Issue(6):56-61,6.
空间电子技术2021,Vol.18Issue(6):56-61,6.DOI:10.3969/j.issn.1674-7135.2021.06.009

硅基太赫兹频率选择表面制作工艺技术研究

Study of terahertz frequency selective surface fabrication process based on silicon

杨士成 1张楠 1黄海涛 1贾旭洲1

作者信息

  • 1. 中国空间技术研究院西安分院,西安 710000
  • 折叠

摘要

关键词

太赫兹/高分/冰云/探测/频率选择表面

分类

航空航天

引用本文复制引用

杨士成,张楠,黄海涛,贾旭洲..硅基太赫兹频率选择表面制作工艺技术研究[J].空间电子技术,2021,18(6):56-61,6.

空间电子技术

1674-7135

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