空间电子技术2021,Vol.18Issue(6):56-61,6.DOI:10.3969/j.issn.1674-7135.2021.06.009
硅基太赫兹频率选择表面制作工艺技术研究
Study of terahertz frequency selective surface fabrication process based on silicon
杨士成 1张楠 1黄海涛 1贾旭洲1
作者信息
- 1. 中国空间技术研究院西安分院,西安 710000
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摘要
关键词
太赫兹/高分/冰云/探测/频率选择表面分类
航空航天引用本文复制引用
杨士成,张楠,黄海涛,贾旭洲..硅基太赫兹频率选择表面制作工艺技术研究[J].空间电子技术,2021,18(6):56-61,6.