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石墨烯晶圆的制备:从高品质到规模化

姜蓓 孙靖宇 刘忠范

物理化学学报2022，Vol.38Issue(2)：3-15,13.
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物理化学学报2022，Vol.38Issue(2)：3-15,13.DOI:10.3866/PKU.WHXB202007068

石墨烯晶圆的制备:从高品质到规模化

Synthesis of Graphene Wafers:from Lab to Fab

姜蓓 1孙靖宇 2刘忠范3

作者信息

  • 1. 北京大学纳米化学研究中心,北京分子科学国家研究中心,北京大学化学与分子工程学院,北京100871
  • 2. 北京石墨烯研究院,北京100095
  • 3. 苏州大学能源学院,苏州大学能源与材料创新研究院,苏州大学-北京石墨烯研究院协同创新中心,江苏苏州215006
  • 折叠

摘要

关键词

石墨烯晶圆/化学气相沉积/高品质/规模化制备

分类

化学化工

引用本文复制引用

姜蓓,孙靖宇,刘忠范..石墨烯晶圆的制备:从高品质到规模化[J].物理化学学报,2022,38(2):3-15,13.

基金项目

国家重点基础研究发展规划项目(973) (2016YFA0200103),国家自然科学基金(61527814,51702225),北京分子科学国家研究中心(BNLMS-CXTD-202001)和北京市科学技术委员会(Z191100000819004)资助 （973）

物理化学学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-6818

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