原子与分子物理学报2022，Vol.39Issue(4)：90-94,5.DOI:10.19855/j.1000-0364.2022.043001
磁控溅射功率对β-Ga2O3薄膜特性的影响
Effects of magnetron sputtering power on β-Ga2O3 thin films prepared by magnetron sputtering
摘要
关键词
β-Ga2O3/射频磁控溅射/溅射功率/半峰宽/晶粒尺寸分类
化学化工引用本文复制引用
冉景杨,高灿灿,马奎,杨发顺..磁控溅射功率对β-Ga2O3薄膜特性的影响[J].原子与分子物理学报,2022,39(4):90-94,5.基金项目
国家自然科学基金(61664004) （61664004）
半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心开放基金(ERCME-KFJJ2019-(01)) （ERCME-KFJJ2019-(01）
