电子器件2021，Vol.44Issue(6)：1375-1380,6.DOI:10.3969/j.issn.1005-9490.2021.06.015
铝掺杂石英粉对多晶硅晶体生长的影响
Effect of Al Doped Quartz Nucleation on the Growth of Multicrystalline Silicon
权祥 1徐云慧 2焦富强 2邓敏 2朱常任2
作者信息
- 1. 常州大学,江苏省光伏工程与科学重点实验室,江苏 常州213164
- 2. 徐州工业职业技术学院材料工程学院,江苏 徐州221140
- 折叠
摘要
关键词
高效多晶硅/形核物/位错分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
权祥,徐云慧,焦富强,邓敏,朱常任..铝掺杂石英粉对多晶硅晶体生长的影响[J].电子器件,2021,44(6):1375-1380,6.
