多晶硅行业中氯硅烷残液处理利用的研究进展OA北大核心
Research progress in the treatment and utilization of chlorosilane residues in polysilicon industry
生产多晶硅的过程中会产生大量的氯硅烷残液,如果处理不好,会造成很大程度的环境污染和资源浪费.因此,对于氯硅烷残液的处理与利用是多晶硅行业必须面对的一个难题.今对改良西门子法生产多晶硅时氯硅烷残液的来源进行介绍,综述关于氯硅烷残液和氯硅烷高沸物组成的相关研究.对目前处理氯硅烷残液涉及的各种方法进行了总结,分析了每种方法的优缺点.其中的水解法和燃烧法等在目前的应用广泛且工艺成熟,但存在一定程度的环境污染以及产品附加值较低造成资源浪费的问题,分析表明通…查看全部>>
王金可;刘春雨;马跃;岳长涛
中国石油大学(北京) 理学院, 北京 102249中国石油大学(北京) 理学院, 北京 102249中国石油大学(北京) 理学院, 北京 102249中国石油大学(北京) 理学院, 北京 102249
资源环境
多晶硅生产氯硅烷残液氯硅烷高沸物废物处理无害化处理资源化利用
《高校化学工程学报》 2022 (1)
9-19,11
国家重点研发计划(2019YFC1907601).
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