高校化学工程学报2022，Vol.36Issue(1)：9-19,11.DOI:10.3969/j.issn.1003-9015.2022.01.002
多晶硅行业中氯硅烷残液处理利用的研究进展
Research progress in the treatment and utilization of chlorosilane residues in polysilicon industry
摘要
关键词
多晶硅生产/氯硅烷残液/氯硅烷高沸物/废物处理/无害化处理/资源化利用分类
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王金可,刘春雨,马跃,岳长涛..多晶硅行业中氯硅烷残液处理利用的研究进展[J].高校化学工程学报,2022,36(1):9-19,11.基金项目
国家重点研发计划(2019YFC1907601). （2019YFC1907601）
