物理学报2022，Vol.71Issue(4)：280-291,12.DOI:10.7498/aps.71.20211744
薄膜厚度对射频磁控溅射β-Ga2O3薄膜光电性能的影响
Effect of film thickness on photoelectric properties of β-Ga2O3 films prepared by radio frequency magnetron sputtering
摘要
关键词
b-Ga2O3薄膜/日盲紫外探测器/薄膜厚度/光电探测性能引用本文复制引用
李秀华,张敏,杨佳,邢爽,高悦,李亚泽,李思雨,王崇杰..薄膜厚度对射频磁控溅射β-Ga2O3薄膜光电性能的影响[J].物理学报,2022,71(4):280-291,12.基金项目
国家自然科学基金(批准号:51101080)、兴辽英才计划青年拔尖人才项目(批准号:XYLC1807170)、辽宁省百千万人才工程项目和大连市科技创新基金项目(批准号:2021JJ13FG97)资助的课题. （批准号:51101080）
