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真空中的基板加热温度检测

石晓倩 郭方准

真空电子技术Issue(1)：P.72-75,4.
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真空电子技术Issue(1)：P.72-75,4.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2022.01.14

真空中的基板加热温度检测

石晓倩 1郭方准1

作者信息

  • 1. 大连交通大学机械工程学院,辽宁大连116028
  • 折叠

摘要

关键词

真空加热/薄膜制备/真空温度/热辐射/电子轰击

分类

机械制造

引用本文复制引用

石晓倩,郭方准..真空中的基板加热温度检测[J].真空电子技术,2022,(1):P.72-75,4.

基金项目

辽宁省教育厅“攀登学者”项目。 （）

真空电子技术

1002-8935

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