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PVT法同质外延制备大尺寸Al极性氮化铝晶体生长工艺及其表征分析研究

李哲 张刚 付丹扬 王琦琨 雷丹 任忠鸣 吴亮

人工晶体学报2022，Vol.51Issue(2)：P.208-215,8.
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人工晶体学报2022，Vol.51Issue(2)：P.208-215,8.

PVT法同质外延制备大尺寸Al极性氮化铝晶体生长工艺及其表征分析研究

李哲 1张刚 1付丹扬 1王琦琨 2雷丹 2任忠鸣 1吴亮2

作者信息

  • 1. 上海大学材料科学与工程学院,上海市钢铁冶金新技术开发应用重点实验室,省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室,上海200444
  • 2. 奥趋光电技术(杭州)有限公司,杭州311106
  • 折叠

摘要

关键词

氮化铝/物理气相传输法/同质外延/生长条件/结晶质量

分类

数理科学

引用本文复制引用

李哲,张刚,付丹扬,王琦琨,雷丹,任忠鸣,吴亮..PVT法同质外延制备大尺寸Al极性氮化铝晶体生长工艺及其表征分析研究[J].人工晶体学报,2022,51(2):P.208-215,8.

基金项目

国家自然科学基金(61874071) （61874071）

浙江省重点研发计划(2020C01145)。 （2020C01145）

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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