物理学报2022，Vol.71Issue(5)：P.233-244,12.DOI:10.7498/aps.71.20211781
闭合磁场的作用原理与布局逻辑
摘要
关键词
闭合磁场/电子运动/真空结构布局/沉积效率分类
数理科学引用本文复制引用
崔岁寒,郭宇翔,陈秋皓,金正,杨超,吴忠灿,苏雄宇,马正永,田修波,吴忠振..闭合磁场的作用原理与布局逻辑[J].物理学报,2022,71(5):P.233-244,12.基金项目
国家材料基因组计划(批准号:2016YFB0700600) （批准号:2016YFB0700600）
深圳科学研究基金(批准号:JSGG20191129112631389)资助的课题。 （批准号:JSGG20191129112631389）
