金刚石与磨料磨具工程2022，Vol.42Issue(1)：10-17,8.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2021.0099
半球谐振子曲面加工干涉分析及其超精密磨削工艺
Interference analysis and ultra-precision grinding technology of hemispherical resonator curved surface machining
摘要
关键词
半球谐振子/超精密磨削/干涉分析/轨迹规划/加工工艺分类
矿业与冶金引用本文复制引用
刘赫男,秦彪,王廷章,田金川,陈明君..半球谐振子曲面加工干涉分析及其超精密磨削工艺[J].金刚石与磨料磨具工程,2022,42(1):10-17,8.基金项目
国家重点研发计划(2018YFB1107600). （2018YFB1107600）
