金刚石与磨料磨具工程2022，Vol.42Issue(1)：61-68,8.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2021.0104
CVD金刚石膜激光平整化效率和粗糙度
Laser planarization efficiency and roughness of CVD diamond film
摘要
关键词
CVD金刚石膜/激光平整化/面粗糙度/机械研磨分类
化学化工引用本文复制引用
李世谕,李成明,安康,邵思武,黄亚博,张建军,郑宇亭,陈良贤,魏俊俊,刘金龙..CVD金刚石膜激光平整化效率和粗糙度[J].金刚石与磨料磨具工程,2022,42(1):61-68,8.基金项目
国家磁约束核聚变能发展研究专项资助(2019YFE03100200) （2019YFE03100200）
国家自然科学基金(5210020483) （5210020483）
中央高校基本科研业务费(FRF-MP-20-48) （FRF-MP-20-48）
北京科技大学顺德研究生院博士后科研经费(2020BH015). （2020BH015）
