传感技术学报2022,Vol.35Issue(1):99-106,8.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2022.01.014
柔性X-Y-Z-θz四自由度位移传感器的静态解耦方法研究
Research on Static Decoupling Method of Flexible X-Y-Z-θz Four-Degree-of-Freedom Displacement Sensor
摘要
关键词
位移传感器/多自由度/静态解耦/非线性/耦合误差建模分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
祖洪飞,潘奔,彭来湖..柔性X-Y-Z-θz四自由度位移传感器的静态解耦方法研究[J].传感技术学报,2022,35(1):99-106,8.基金项目
浙江省自然科学基金资助项目(LQ20E050020) (LQ20E050020)
2020年度浙江省博士后科研择优资助项目(ZJ2020102) (ZJ2020102)
浙江省重点研发计划(2019C01038) (2019C01038)
浙江理工大学科研启动基金项目(18022219-Y) (18022219-Y)
浙江理工大学青年创新专项(20022119-Y) (20022119-Y)