机械科学与技术2022，Vol.41Issue(2)：235-238,4.DOI:10.13433/j.cnki.1003-8728.20200345
Bi2Te3基晶棒线锯切片翘曲度的有限元分析
Finite Element Analysis of Wafer Warp Slicing by Wire-saw of Bi2Te3
摘要
关键词
碲化铋基热电材料/多线切割/翘曲度/有限元分析分类
机械制造引用本文复制引用
赵华东,马新伟..Bi2Te3基晶棒线锯切片翘曲度的有限元分析[J].机械科学与技术,2022,41(2):235-238,4.基金项目
郑州市协同创新重大专项(18XTZX12005) （18XTZX12005）
