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基于二维声子晶体的体声波谐振器仿真分析

石林豪 轩伟鹏 孙玲玲 董树荣 金浩 骆季奎

物联网学报2022,Vol.6Issue(1):13-19,7.
物联网学报2022,Vol.6Issue(1):13-19,7.DOI:10.11959/j.issn.2096−3750.2022.00251

基于二维声子晶体的体声波谐振器仿真分析

Simulation of film bulk acoustic resonator based on two-dimensional phononic crystals

石林豪 1轩伟鹏 1孙玲玲 1董树荣 2金浩 2骆季奎1

作者信息

  • 1. 杭州电子科技大学电子信息学院射频电路与系统教育部重点实验室,浙江 杭州 310018
  • 2. 浙江大学信息与电子工程学院,浙江 杭州 310027
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摘要

关键词

体声波谐振器/高反射率/声子晶体/有限元分析

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

石林豪,轩伟鹏,孙玲玲,董树荣,金浩,骆季奎..基于二维声子晶体的体声波谐振器仿真分析[J].物联网学报,2022,6(1):13-19,7.

基金项目

浙江省重点研发计划(No.2021C05004) (No.2021C05004)

物联网学报

2096-3750

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