物联网学报2022,Vol.6Issue(1):13-19,7.DOI:10.11959/j.issn.2096−3750.2022.00251
基于二维声子晶体的体声波谐振器仿真分析
Simulation of film bulk acoustic resonator based on two-dimensional phononic crystals
摘要
关键词
体声波谐振器/高反射率/声子晶体/有限元分析分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
石林豪,轩伟鹏,孙玲玲,董树荣,金浩,骆季奎..基于二维声子晶体的体声波谐振器仿真分析[J].物联网学报,2022,6(1):13-19,7.基金项目
浙江省重点研发计划(No.2021C05004) (No.2021C05004)