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氧化型垂直腔面发射激光器的常见失效模式和机理分析

张玉岐 左致远 阚强 赵佳

中国光学2022，Vol.15Issue(2)：187-209,23.
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中国光学2022，Vol.15Issue(2)：187-209,23.DOI:10.37188/CO.EN.2021-0012

氧化型垂直腔面发射激光器的常见失效模式和机理分析

Common failure modes and mechanisms in oxide vertical cavity surface emitting lasers

张玉岐 1左致远 2阚强 1赵佳3

作者信息

  • 1. 山东大学 激光与红外系统集成技术教育部重点实验室,山东青岛 266237
  • 2. 厦门市三安集成电路有限公司,福建厦门 361000
  • 3. 中国科学院半导体研究所,北京 100083
  • 折叠

摘要

关键词

VCSEL/氧化物/失效模式和机理/可靠性

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张玉岐,左致远,阚强,赵佳..氧化型垂直腔面发射激光器的常见失效模式和机理分析[J].中国光学,2022,15(2):187-209,23.

基金项目

国家重点研发计划纳米专项课题(No.2018YFA0209001) （No.2018YFA0209001）

国家重点研发计划课题(No.2018YFA 0209002,No.2018YFB2200700) （No.2018YFA 0209002,No.2018YFB2200700）

中国光学

OA北大核心CSCDCSTPCD

2095-1531

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