内蒙古民族大学学报：自然科学版2022，Vol.37Issue(1)：P.19-25,7.DOI:10.14045/j.cnki.15-1220.2022.01.003
AFM轻敲模式对Si基SiO_(2)薄膜粗糙度的研究
摘要
关键词
AFM/轻敲模式/SiO_(2)薄膜/粗糙度分类
医药卫生引用本文复制引用
贾娟,姜爱峰,丁慧,李继军,杨诗婷,郎风超..AFM轻敲模式对Si基SiO_(2)薄膜粗糙度的研究[J].内蒙古民族大学学报：自然科学版,2022,37(1):P.19-25,7.基金项目
国家自然科学基金项目(11562016,12002174) （11562016,12002174）
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内蒙古自治区高等学校科研项目(NJZY22383) （NJZY22383）
内蒙古工业大学科研项目(ZY201818) （ZY201818）
内蒙古工业大学大学生创新实验计划(2020093006)。 （2020093006）
