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共价键合光致产酸剂的单分子树脂光刻胶:合成及光刻性能

张卫杰 陈金平 于天君 曾毅 李嫕

影像科学与光化学2022，Vol.40Issue(2)：P.211-219,9.
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影像科学与光化学2022，Vol.40Issue(2)：P.211-219,9.DOI:10.7517/issn.1674-0475.211001

共价键合光致产酸剂的单分子树脂光刻胶:合成及光刻性能

张卫杰 1陈金平 2于天君 2曾毅 1李嫕1

作者信息

  • 1. 中国科学院理化技术研究所,光化学转换与功能材料重点实验室,北京100190 中国科学院大学,北京100049
  • 2. 中国科学院理化技术研究所,光化学转换与功能材料重点实验室,北京100190
  • 折叠

摘要

关键词

单分子树脂/光刻胶/电子束光刻/光致产酸剂

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张卫杰,陈金平,于天君,曾毅,李嫕..共价键合光致产酸剂的单分子树脂光刻胶:合成及光刻性能[J].影像科学与光化学,2022,40(2):P.211-219,9.

基金项目

国家自然科学基金项目(22090012) （22090012）

国家科技重大专项(2018ZX02102-005)资助。 （2018ZX02102-005）

影像科学与光化学

OA北大核心CSTPCD

1674-0475

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