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三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征

王陈 孟宪昱 于瀛洁 孔明 刘维

光学精密工程2022，Vol.30Issue(6)：P.651-658,8.
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光学精密工程2022，Vol.30Issue(6)：P.651-658,8.DOI:10.37188/OPE.20223006.0651

三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征

王陈 1孟宪昱 1于瀛洁 1孔明 2刘维2

作者信息

  • 1. 上海大学机电工程与自动化学院,上海200444
  • 2. 中国计量大学计量测试工程学院,浙江杭州310018
  • 折叠

摘要

关键词

三维纳米结构/台阶高度/光学显微测量/参数表征/三维形貌

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王陈,孟宪昱,于瀛洁,孔明,刘维..三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征[J].光学精密工程,2022,30(6):P.651-658,8.

基金项目

上海市青年科技英才扬帆计划资助项目(No.20YF1412800) （No.20YF1412800）

新型显示技术及应用集成教育部重点实验室资助课题。 （）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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