光学精密工程2022，Vol.30Issue(6)：P.667-677,11.DOI:10.37188/OPE.20223006.0667
基于差极结构的绝对式直线时栅位移传感器研究及测量误差特性分析
摘要
关键词
绝对式位移测量/时栅传感器/差极结构/测量误差分析分类
机械制造引用本文复制引用
陈自然,黎锡,冯曦颉,陈鸿友,张桁潇,余海游..基于差极结构的绝对式直线时栅位移传感器研究及测量误差特性分析[J].光学精密工程,2022,30(6):P.667-677,11.基金项目
国家自然科学基金项目(No.52175495,No.51775075) （No.52175495,No.51775075）
中国博士后科学基金项目(No.2021M691392) （No.2021M691392）
重庆理工大学研究生创新项目(No.clgycx20202075)。 （No.clgycx20202075）
