光学精密工程2022,Vol.30Issue(6):P.678-688,11.DOI:10.37188/OPE.20223006.0678
基于气浮轴承的无摩擦气缸设计及参数优化
摘要
关键词
无摩擦气缸/气浮轴承/有限元分析/超精密垂直轴/参数优化分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
岳友飞,苏星,李自胜,李顺顺,李星占,蔡勇..基于气浮轴承的无摩擦气缸设计及参数优化[J].光学精密工程,2022,30(6):P.678-688,11.基金项目
中国博士后科学基金资助项目(No.2021M693010) (No.2021M693010)
国家自然科学基金资助项目(No.11802279)。 (No.11802279)