光学精密工程2022，Vol.30Issue(6)：P.702-710,9.DOI:10.37188/OPE.20223006.0702
金刚石刀轮滚压脆断单晶硅和蓝宝石的实验研究
摘要
关键词
单晶硅/蓝宝石/金刚石刀轮/裂纹扩展/精密滚压脆断分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈绒,周聪,谢晋,陈钊杰..金刚石刀轮滚压脆断单晶硅和蓝宝石的实验研究[J].光学精密工程,2022,30(6):P.702-710,9.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51975219) （No.51975219）
广东省自然科学基金资助项目(No.2020A1515010807) （No.2020A1515010807）
广东省国际科技合作项目(No.2020A0505100003) （No.2020A0505100003）
2020年度基本科研业务费项目-自然科学类培育项目 （）
广东省教育厅普通高校认定类科研项目(No.2020KQNCX103)。 （No.2020KQNCX103）
