云南师范大学学报（自然科学版）2022，Vol.42Issue(2)：1-8,8.DOI:10.7699/j.ynnu.ns-2022-014
ALD法制备二维二硫化钼薄膜的研究现状及展望
Research Status and Prospect of Two-dimensional Molybdenum Disulfide Thin Films Prepared by ALD Method
摘要
关键词
二维材料/二硫化钼/原子层沉积分类
通用工业技术引用本文复制引用
常晓萌,李佳保,周启航,杨培志..ALD法制备二维二硫化钼薄膜的研究现状及展望[J].云南师范大学学报（自然科学版）,2022,42(2):1-8,8.基金项目
国家自然科学基金资助项目(U1802257) （U1802257）
云南省基础研究重点资助项目(2017FA024) （2017FA024）
云南省高校科技创新团队资助项目(01700205020503010). （01700205020503010）
