交错梳齿型静电驱动MEMS微镜的设计与制作

李晓明郝瑞亭倪海桥牛智川

云南师范大学学报（自然科学版）2022，Vol.42Issue(2)：9-13,5.

云南师范大学学报（自然科学版）2022，Vol.42Issue(2)：9-13,5.DOI:10.7699/j.ynnu.ns-2022-015

Design and Fabrication of Staggered Vertical Comb Electrostatically Driven MEMS Micromirrors

李晓明 ¹郝瑞亭 ¹倪海桥 ²牛智川²

作者信息

光刻/键合/垂直交错梳齿/MEMS/微镜

信息技术与安全科学

李晓明,郝瑞亭,倪海桥,牛智川..交错梳齿型静电驱动MEMS微镜的设计与制作[J].云南师范大学学报（自然科学版）,2022,42(2):9-13,5.

国家自然科学基金资助项目(61774130). （61774130）

OACSTPCD

ISSN：1007-9793

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