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氧气流量对于磁过滤阴极真空弧法制备Zr02薄膜特性的影响

郭春刚 张梦迪 英敏菊

北京师范大学学报（自然科学版）2022，Vol.58Issue(1)：47-51,5.
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北京师范大学学报（自然科学版）2022，Vol.58Issue(1)：47-51,5.DOI:10.12202/j.0476-0301.2021138

氧气流量对于磁过滤阴极真空弧法制备Zr02薄膜特性的影响

Influence of 02 flow rate on characteristics of ZrO2 thin films made by magnetic filter cathode vacuum arc method

郭春刚 1张梦迪 1英敏菊1

作者信息

  • 1. 北京师范大学核科学与技术学院,射线束技术教育部重点实验室,北京市辐射中心,100875,北京
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摘要

关键词

ZrO2薄膜/磁过滤阴极真空弧法/O2流量

分类

数理科学

引用本文复制引用

郭春刚,张梦迪,英敏菊..氧气流量对于磁过滤阴极真空弧法制备Zr02薄膜特性的影响[J].北京师范大学学报（自然科学版）,2022,58(1):47-51,5.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(11875088) （11875088）

北京师范大学学报（自然科学版）

OA北大核心CSCDCSTPCD

0476-0301

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