氧气流量对于磁过滤阴极真空弧法制备Zr02薄膜特性的影响OA北大核心CSTPCD
Influence of 02 flow rate on characteristics of ZrO2 thin films made by magnetic filter cathode vacuum arc method
ZrO2薄膜具有高硬度、高耐磨性等优良特性,在诸多领域具有广泛的应用前景.高品质Zr02薄膜的制备一直是科学家们研究的一个重点和热点问题.本文利用磁过滤阴极真空弧(FCVA)技术,以金属Zr为阴极,在单晶硅(100)衬底上制备高品质ZrO2薄膜,利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、X射线电子能谱(XPS)和纳米力学探针对薄膜的结构、形貌、成分及其性能进行表征,研究了 O2流量对于ZrO2薄膜的晶体结构、形貌、成分以及力学性能的影响规…查看全部>>
郭春刚;张梦迪;英敏菊
北京师范大学核科学与技术学院,射线束技术教育部重点实验室,北京市辐射中心,100875,北京北京师范大学核科学与技术学院,射线束技术教育部重点实验室,北京市辐射中心,100875,北京北京师范大学核科学与技术学院,射线束技术教育部重点实验室,北京市辐射中心,100875,北京
数理科学
ZrO2薄膜磁过滤阴极真空弧法O2流量
《北京师范大学学报（自然科学版）》 2022 (1)
缺陷调制室温铁磁性ZnO半导体材料的离子束制备与极性调控
47-51,5
国家自然科学基金资助项目(11875088)
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