光学精密工程2022，Vol.30Issue(5)：499-509,11.DOI:10.37188/OPE.20223005.0499
超精密空间分离式外差利特罗平面光栅编码器位移测量系统
Ultra-precision spatial-separated heterodyne Littrow grid encoder displacement measurement system
摘要
关键词
浸没式光刻机/位移测量/平面光栅编码器/空间分离/外差/利特罗角分类
机械制造引用本文复制引用
王磊杰,郭子文,叶伟楠,张鸣,朱煜..超精密空间分离式外差利特罗平面光栅编码器位移测量系统[J].光学精密工程,2022,30(5):499-509,11.基金项目
02国家重大科技专项资助项目(No.2017ZX02102004,No.2018ZX02101003) （No.2017ZX02102004,No.2018ZX02101003）
