光学精密工程2022，Vol.30Issue(5)：555-573,19.DOI:10.37188/OPE.20223005.0555
大面积纳米压印技术及其器件应用
Large-area nanoimprint lithography:processes and device applications
摘要
关键词
纳米压印/大面积压印模板/大面积图形化/器件应用分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
高晓蕾,陈艺勤,郑梦洁,段辉高..大面积纳米压印技术及其器件应用[J].光学精密工程,2022,30(5):555-573,19.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51805160,No.12104182) （No.51805160,No.12104182）
广东省基础与应用基础研究基金区域联合基金项目(No.2020A1515110971) （No.2020A1515110971）
东南大学江苏省微纳生物医疗器械设计与制造重点实验室开放研究基金资助课题(No.KF202001) （No.KF202001）
