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基于三步脉冲生长方法制备的高质量非极性a福AlN模板特性的研究

张雄 陈帅 崔一平

安庆师范大学学报(自然科学版)2022,Vol.28Issue(1):9-15,27,8.
安庆师范大学学报(自然科学版)2022,Vol.28Issue(1):9-15,27,8.DOI:10.13757/j.cnki.cn34-1328/n.2022.01.008

基于三步脉冲生长方法制备的高质量非极性a福AlN模板特性的研究

Study on the Properties of High-quality Non-polar a-Plane AlN Template Prepared by the Three-step Pulse Growth Method

张雄 1陈帅 1崔一平1

作者信息

  • 1. 东南大学先进光子学中心,江苏南京210096
  • 折叠

摘要

关键词

非极性a面(11(2)0)氮化铝模板/晶体质量/光学性质/表面形貌/三步脉冲生长方法

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张雄,陈帅,崔一平..基于三步脉冲生长方法制备的高质量非极性a福AlN模板特性的研究[J].安庆师范大学学报(自然科学版),2022,28(1):9-15,27,8.

基金项目

国家自然科学基金重点项目(2018YFE0201000),国家自然科学基金面上项目(62005026,61804027)和江苏省自然科学基金面上项目(BK20191027,BK20180359) (2018YFE0201000)

安庆师范大学学报(自然科学版)

1007-4260

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