集成技术2022，Vol.11Issue(2)：89-106,18.DOI:10.12146/j.issn.2095-3135.20210707001
硅基光子调制器研究进展
Research Progress of Silicon-Based Photonic Modulator
摘要
关键词
光子器件/调制器/硅基/研究进展分类
数理科学引用本文复制引用
胡祥建,冯松,冯露露,王迪,刘勇,陈梦林,丁斌斌,韩超,韩小祥..硅基光子调制器研究进展[J].集成技术,2022,11(2):89-106,18.基金项目
国家重点研发计划项目(2018YFB2200500) （2018YFB2200500）
国家自然科学基金项目(61204080) （61204080）
国家重点实验室基金项目(SKL201804) （SKL201804）
陕西省重点研发计划项目(2022GY-012,2020KW-011) （2022GY-012,2020KW-011）
西安市科技计划项目(2020KJRC0026) （2020KJRC0026）
