计量学报2022,Vol.43Issue(3):299-305,7.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2022.03.02
无源器件在片散射参数校准比较方法研究
Research for Calibration Comparison Method of Passive Devices on-wafer Scattering Parameters
摘要
关键词
计量学/在片散射参数/校准比较方法/误差项/数学模型/最大偏差分类
通用工业技术引用本文复制引用
霍晔,吴爱华,王一帮,栾鹏,刘晨,梁法国,孙静,张立飞,胡海龙..无源器件在片散射参数校准比较方法研究[J].计量学报,2022,43(3):299-305,7.基金项目
河北省省级科技计划(206Z0201G) (206Z0201G)
国家国防科技工业局技术基础(JSJL2019210B005) (JSJL2019210B005)