机械科学与技术2022，Vol.41Issue(3)：421-432,12.DOI:10.13433/j.cnki.1003-8728.20200618
单晶硅的放电加工条件与试验研究
Definition and Experimental Research on Electrical Discharge Machining Conditions of Single Crystal Silicon
摘要
关键词
放电加工/单晶硅/场致发射/等离子体通道/电导率分类
矿业与冶金引用本文复制引用
辛彬,刘巍,宋玉贵..单晶硅的放电加工条件与试验研究[J].机械科学与技术,2022,41(3):421-432,12.基金项目
国家自然科学基金项目(11805150)与陕西省教育厅基金项目(20JK0691) （11805150）
