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类金刚石薄膜膜基结合强度优化技术研究进展

郭栋 张树玲 甘志颖 郭峰

宁夏工程技术2022，Vol.21Issue(1)：84-91,8.
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宁夏工程技术2022，Vol.21Issue(1)：84-91,8.

类金刚石薄膜膜基结合强度优化技术研究进展

Study on Optimization Technology of Bonding Strength of DLC Films

郭栋 1张树玲 1甘志颖 1郭峰1

作者信息

  • 1. 青岛理工大学机械与汽车工程学院,山东青岛 266520
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摘要

关键词

掺杂元素/内应力/类金刚石膜/结合力/过渡层/多层膜设计

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

郭栋,张树玲,甘志颖,郭峰..类金刚石薄膜膜基结合强度优化技术研究进展[J].宁夏工程技术,2022,21(1):84-91,8.

基金项目

国家自然科学基金项目(51861031) （51861031）

宁夏工程技术

1671-7244

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