|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|人工晶体学报|基于神经网络和遗传算法的铸锭晶体硅质量控制及工艺优化

基于神经网络和遗传算法的铸锭晶体硅质量控制及工艺优化

郝佩瑶 朱金伟 廖继龙 郑丽丽 张辉

人工晶体学报2022，Vol.51Issue(3)：385-397,13.
✕
人工晶体学报2022，Vol.51Issue(3)：385-397,13.

基于神经网络和遗传算法的铸锭晶体硅质量控制及工艺优化

Process Control and Optimization of Ingot Crystalline Silicon Growth Using Neural Network and Genetic Algorithm

郝佩瑶 1朱金伟 1廖继龙 2郑丽丽 1张辉3

作者信息

  • 1. 清华大学航天航空学院,北京 100084
  • 2. 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司,徐州 221001
  • 3. 清华大学工程物理系,北京 100084
  • 折叠

摘要

关键词

铸锭晶体硅/人工神经网络/遗传算法/V/G/定向凝固/晶体质量

分类

数理科学

引用本文复制引用

郝佩瑶,朱金伟,廖继龙,郑丽丽,张辉..基于神经网络和遗传算法的铸锭晶体硅质量控制及工艺优化[J].人工晶体学报,2022,51(3):385-397,13.

基金项目

国家重点研发计划(2020YFB1506501) （2020YFB1506501）

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文