硬脆性材料用柔性磨具研磨的加工表面粗糙度建模OA北大核心CSTPCD
Surface Roughness Modeling for Lapping Hard and Brittle Materials by Flexible Abrasive Tools
通过分析磨粒与工件表面的作用过程,建立了硬脆性材料柔性磨具加工表面粗糙度的理论预测模型.以橡胶结合剂金刚石研磨盘为柔性磨具、蓝宝石衬底为工件,在不同弹性模量、磨粒浓度、磨粒粒度和研磨压力下开展研磨试验,将不同研磨条件下的表面粗糙度试验值与理论预测值进行比较,发现试验结果与理论模型预测结果的趋势一致,且预测误差为7.71％～10.1％,验证了所建立理论模型的可靠性.
章玉强;胡中伟;朱泽朋;崔长彩;陈铭欣;谢斌晖;李瑞萍
华侨大学制造工程研究院,厦门,361021脆性材料产品智能制造国家地方联合工程中心,厦门,361021华侨大学制造工程研究院,厦门,361021脆性材料产品智能制造国家地方联合工程中心,厦门,361021华侨大学制造工程研究院,厦门,361021脆性材料产品智能制造国家地方联合工程中心,厦门,361021华侨大学制造工程研究院,厦门,361021
机械制造
研磨表面粗糙度柔性磨具蓝宝石衬底
《中国机械工程》 2022 (7)
大尺寸金刚石磨盘超声辅助行星磨削SiC晶片关键技术基础研究
834-841,8
国家自然科学基金(U1805251,51675192)福建省区域发展项目(2019H4014)
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