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熔石英表面离子束抛光去除函数稳定性研究

吴鹏飞 王春阳 李晓静 赵仕燕 王大森 聂凤明

表面技术2022，Vol.51Issue(4)：284-291,8.
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表面技术2022，Vol.51Issue(4)：284-291,8.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.04.029

熔石英表面离子束抛光去除函数稳定性研究

Stability of Ion Beam Polishing Removal Function on Fused Silica Surface

吴鹏飞 1王春阳 1李晓静 2赵仕燕 3王大森 3聂凤明3

作者信息

  • 1. 长春理工大学 电子信息工程学院,长春 130022
  • 2. 西安工业大学 兵器科学与技术学院, 西安 710021
  • 3. 中国兵器科学研究院宁波分院,浙江 宁波 315103
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摘要

关键词

离子束抛光/法拉第杯检测/离子束流密度/去除函数/稳定性

分类

机械制造

引用本文复制引用

吴鹏飞,王春阳,李晓静,赵仕燕,王大森,聂凤明..熔石英表面离子束抛光去除函数稳定性研究[J].表面技术,2022,51(4):284-291,8.

基金项目

国家科技重大专项(2017ZX04022001-205-001) （2017ZX04022001-205-001）

宁波市科技计划(202003N4345) （202003N4345）

表面技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-3660

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