表面技术2022，Vol.51Issue(4)：342-347,6.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.04.036
光学望远镜镜片旋转镀膜修正挡板的仿真设计
Simulation Design of Correction Masks for Optical Telescope Mirrors in Rotating Coating System
摘要
关键词
真空镀膜/蒸发源/光学薄膜/膜厚均匀性/修正挡板/数值分析分类
数理科学引用本文复制引用
孙伟超,许竞,林星魁,艾力·伊沙木丁..光学望远镜镜片旋转镀膜修正挡板的仿真设计[J].表面技术,2022,51(4):342-347,6.基金项目
新疆维吾尔自治区自然科学基金(2018D01B39) （2018D01B39）
