传感技术学报2022，Vol.35Issue(2)：143-147,5.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2022.02.001
掺杂n+GaAs的热电式MEMS微波功率传感器在Ka波段的研究
Study on Thermoelectric MEMS Microwave Power Sensor with Doped n+ GaAs at Ka-Band
摘要
关键词
MEMS/微波功率传感器/掺杂n+GaAs/灵敏度/信噪比分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
洪阳,张志强,孙国琛,郑从兵,刘佳琦..掺杂n+GaAs的热电式MEMS微波功率传感器在Ka波段的研究[J].传感技术学报,2022,35(2):143-147,5.基金项目
国家自然科学基金项目(61604039) （61604039）
至善青年学者支持计划项目(2242019R40030) （2242019R40030）
