光学精密工程2022，Vol.30Issue(7)：813-820,8.DOI:10.37188/OPE.20223007.0813
微透镜阵列单点金刚石车削补偿技术
Single point diamond turning and compensation for micro-lens array
摘要
关键词
超精密加工/微透镜阵列/单点金刚石车削/慢刀伺服/原位测量/加工补偿分类
数理科学引用本文复制引用
王之岳,陈灶灶,朱利民,张鑫泉..微透镜阵列单点金刚石车削补偿技术[J].光学精密工程,2022,30(7):813-820,8.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.52075332) （No.52075332）
中科院战略性先导专项A类(No.XDA25040000,No.XDA25040200,No.XDA25040202) （No.XDA25040000,No.XDA25040200,No.XDA25040202）
