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恒光强扫描干涉光刻条纹锁定系统设计

王磊杰罗伟文张鸣朱煜

光学精密工程2022，Vol.30Issue(8)：938-947,10.

光学精密工程2022，Vol.30Issue(8)：938-947,10.DOI:10.37188/OPE.20223008.0938

Design on constant coherent light intensity fringe locking system for scanning beam interference lithography

王磊杰 ¹罗伟文 ²张鸣 ¹朱煜¹

作者信息

扫描干涉光刻/条纹锁定/外差相位测量干涉仪

机械制造

王磊杰,罗伟文,张鸣,朱煜..恒光强扫描干涉光刻条纹锁定系统设计[J].光学精密工程,2022,30(8):938-947,10.

02国家重大科技专项资助项目(No.2018ZX02101003) （No.2018ZX02101003）

OA北大核心CSTPCD

ISSN：1004-924X

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