南京工业大学学报（自然科学版）2022，Vol.44Issue(2)：169-179,11.DOI:10.3969/j.issn.1671-7627.2022.02.007
基于镍基刻蚀剂分步刻蚀微锥形阵列工艺方法
A step by step etching process of micro conical array based on nickel based etching agent
摘要
关键词
金属阵列结构/分步式加工/镍基刻蚀剂/掩膜电解加工/疏水表面分类
机械制造引用本文复制引用
唐健,张彦,周克兵,赵亮,王国乾,褚昊森..基于镍基刻蚀剂分步刻蚀微锥形阵列工艺方法[J].南京工业大学学报（自然科学版）,2022,44(2):169-179,11.基金项目
国家自然科学基金(51705239) （51705239）
江苏省"六大人才高峰"(JXQC-009) （JXQC-009）
江苏省基础研究计划(BK20190669) （BK20190669）
