天津科技大学学报2022，Vol.37Issue(2)：57-60,4.DOI:10.13364/j.issn.1672-6510.20210175
湿法刻蚀制备铌酸锂锥形脊波导
Preparation of Lithium Niobate Taper Ridge Waveguide by Wet Etching
摘要
关键词
质子交换/铌酸锂/锥形结构/湿法刻蚀/脊波导分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
谷珍杰,温旭杰,张维佳,华平壤,饶前程,黄颖..湿法刻蚀制备铌酸锂锥形脊波导[J].天津科技大学学报,2022,37(2):57-60,4.基金项目
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