双腔比对折射率法测定气体压力OA北大核心CSTPCD
Measurement of gas pressure by double-cavity comparison refractive index method
搭建了基于气体折射率方法的气体压力测量装置,测量区间为10—100 kPa,采用双腔比对方法对装置进行了检验.通过将两个真空腔体分别控温,并且真空连通,保证了两个腔内气体压力相同.以高纯氮气(6N)为气体介质,在不同气体压力条件下,得到了双腔对比测量的初步结果.结果显示,基于光学方法的气体折射率压力计重复度高于30×10–6,显著好于商用电容式薄膜压力计,说明该方法具有很大潜力.本文还分析了测量中的误差来源,并计划通过改进系统设计以提高测量精度.
刘洋洋;胡常乐;孙羽;王进;胡水明
中国科学技术大学化学物理系, 合肥 230026中国科学技术大学化学物理系, 合肥 230026中国科学技术大学化学物理系, 合肥 230026中国科学技术大学, 中国科学院量子信息与量子科技创新研究院, 合肥 230026中国科学技术大学化学物理系, 合肥 230026
计量学气体压力气体折射率双腔比对
《物理学报》 2022 (8)
55-60,6
中国科学院战略先导科技专项(C类)(批准号:XDC07010000)资助的课题.